所属单位名称：
中南大学/能源科学与工程学院
仪器用途：
此项设备目前应用于材料，机械工程等领域。
功能用途说明：
该设备可测量各种材料（如磁盘、半导体晶片、精密加工和抛光面、微电子陶瓷、平面显示器玻璃、光学平面等）表面的台阶高度。台阶必须事先做好。台阶作的越陡峭越好，最好是用光刻的方法作出，否则测试的准确性会大大变差。样品要求：平面尺寸φ10mm～φ158mm；厚度＜20mm；台阶高度＜0.4mm。校内收费标准。
技术性能指标：
该设备仪器的数据参数为：扫描长度：10mm（2）扫描速度：2μm/s～200μm/s（3）台阶高度可重复性：0.8nm的典型标准偏差或0.1%的测量垂直范围（对20μm范围）；0.4μm的典型标准偏差或0.2%的测量垂直范围（对400μm范围）。（4）可测样品最大尺寸：φ158mm（5）可测样品最大厚度：21mm可测样品最大重量：1kg。
公安备案号 ：
